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一种多晶硅尾气回收无定型硅干燥稳压系统 

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申请/专利权人:宁夏晶体新能源材料有限公司

摘要:本申请公开了一种多晶硅尾气回收无定型硅干燥稳压系统,反吹气包使用氢气释放高压气体,使得金属烧结滤芯表面的无定型硅脱落,硅粉接收罐收集无定型硅并使用还原尾气及压缩机出口高温气体对无定型硅加热干燥,放空过滤器收集硅粉接收罐在氮气置换泄压时罐中气相夹杂的无定型硅,通过氮气加压放空过滤器收集的无定型硅,根据无定型硅外售干燥情况选择送至硅粉接收罐干燥或送至硅粉收集罐内收集。将无定型硅通过高效硅粉过滤器过滤、硅粉接收罐干燥、硅粉接收罐气相换热后送至再生冷凝系统,让硅粉在系统内部干燥,可有效的降低固废在处理的过程中对环境的污染,规避因吸附柱自控逻辑的制约间接导致再生气压缩机的跳停,提高再生装置运转周期。

主权项:1.一种多晶硅尾气回收无定型硅干燥稳压系统,其特征在于,用于尾气回收,所述系统包括高效硅粉过滤器、反吹气包、放空过滤器、硅粉接收罐以及硅粉收集罐;所述反吹气包与高效硅粉过滤器相连,用于使用氢气释放反吹气包内部的高压气体,增加金属烧结滤芯的反向冲洗压力,使得金属烧结滤芯表面的无定型硅脱落并通过管道送至硅粉接收罐内;所述高效硅粉过滤器与硅粉接收罐相连,用于通过金属烧结滤芯过滤还原尾气中的无定型硅,并将过滤后的无定型硅发送至硅粉接收罐;所述硅粉接收罐分别与硅粉收集罐以及放空过滤器相连,用于收集高效硅粉过滤器和放空过滤器所过滤出的无定型硅,并对无定型硅进行加热干燥;所述放空过滤器,用于过滤并收集硅粉接收罐在氮气置换泄压时硅烷气体中夹杂的无定型硅和高效硅粉过滤器在滤芯置换时氮气中的无定型硅;所述硅粉收集罐,用于收集硅粉接收罐加热干燥的无定型硅和放空过滤器收集硅粉接收罐在氮气置换泄压时硅烷气体中夹杂的无定型硅。

全文数据:

权利要求:

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