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申请/专利权人:毅湃(上海)真空镀膜技术有限公司
摘要:本实用新型公开了一种PVD涂层机,包括设备主体、气体箱和蒸发组件,所述设备主体的内部安装有压缩机组件,所述设备主体的内部位于蒸发组件的底端设置有载台,且载台的一侧设置有喷头,所述载台底端的两侧均设置有回收槽,所述回收槽的内部安装有对接环。本实用新型通过设置有回收槽、连接管、对接环、螺纹环以及过滤罩,实现了对涂料的回收,回收槽的分布,能够对多余的涂料进行收集,且对接环的内部设置有与连接管相配合的对接槽,便于将回收槽从连接管的顶端移开,对回收槽的内部进行维护,同时过滤罩的安装,能够对杂质和颗粒物进行阻拦,避免杂质和颗粒物进入到压缩机组件的内部,从而使该PVD涂层机具有回收功能。
主权项:1.一种PVD涂层机,包括设备主体1、气体箱3和蒸发组件5,其特征在于:所述设备主体1的内部安装有压缩机组件2,所述设备主体1的内部位于蒸发组件5的底端设置有载台12,且载台12的一侧设置有喷头4,所述载台12底端的两侧均设置有回收槽10,所述回收槽10的内部安装有对接环15,且对接环15的顶端设置有过滤罩17,所述对接环15的内部与连接管11的末端形成活动连接,且连接管11与压缩机组件2形成连接。
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