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申请/专利权人：上海御微半导体技术有限公司

摘要：本发明涉及硅片检测技术领域，公开一种精密运动台。其中精密运动台包括支架、承载盘、升降组件和驱动组件。承载盘转动安装于支架上，承载盘用于承载硅片；升降组件包括丝杠、丝母和多个支撑杆，多个支撑杆环设且连接于丝母，丝杠转动连接于支架，丝母螺纹连接于丝杠，承载盘设置有多个通孔，支撑杆能够穿设于通孔；驱动组件包括旋转轴、驱动件、第一连接件和第二连接件，旋转轴环设于升降组件的外侧，且转动连接于支架；驱动件驱动连接于旋转轴，用于驱动旋转轴转动；第一连接件用于旋转轴与承载盘之间连接或断开，第二连接件用于旋转轴与丝杠之间连接或断开。本发明保证了承载盘吸附硅片的平面度，提高精密运动台的集成度。

主权项：1.一种精密运动台，其特征在于，包括：支架（1）；承载盘（2），转动安装于所述支架（1）上，所述承载盘（2）用于承载硅片；升降组件（3），包括丝杠（31）、丝母（32）和多个支撑杆（33），多个所述支撑杆（33）环设且连接于所述丝母（32），所述丝杠（31）转动连接于所述支架（1），所述丝母（32）螺纹连接于所述丝杠（31），所述承载盘（2）设置有多个通孔（21），所述支撑杆（33）能够穿设于所述通孔（21）；驱动组件（4），包括旋转轴（41）、驱动件（42）、第一连接件（43）和第二连接件（44），所述旋转轴（41）环设于所述升降组件（3）的外侧，且转动连接于所述支架（1）；所述驱动件（42）驱动连接于所述旋转轴（41），用于驱动所述旋转轴（41）转动；所述第一连接件（43）用于所述旋转轴（41）与所述承载盘（2）之间连接或断开，所述第二连接件（44）用于所述旋转轴（41）与所述丝杠（31）之间连接或断开；工作时，通过所述第一连接件（43）使所述旋转轴（41）连接于所述承载盘（2），通过所述第二连接件（44）使所述旋转轴（41）与所述丝杠（31）断开；所述驱动件（42）驱动所述旋转轴（41）转动时，所述旋转轴（41）能够驱动所述承载盘（2）转动，便于对所述承载盘（2）上的硅片进行检测；需要交接时，所述旋转轴（41）驱动所述承载盘（2）转动至交接位，即所述通孔（21）与所述支撑杆（33）同轴的位置；然后通过所述第一连接件（43）使所述旋转轴（41）与所述承载盘（2）断开，通过所述第二连接件（44）使所述旋转轴（41）连接于所述丝杠（31），所述旋转轴（41）能够驱动所述丝杠（31）转动，所述丝母（32）沿所述丝杠（31）的轴向移动，以使所述支撑杆（33）穿设所述通孔（21）并托起硅片。

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