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申请/专利权人：上海泽丰半导体科技有限公司

摘要：本发明涉及半导体测试领域，更具体地说，涉及一种简易探针台。本发明的简易探针台，包括探针卡安装调节系统，用于在校准时安装并调节校准探针卡或在测试时安装并调节测试探针卡；晶圆托举与传输系统，用于对被测晶圆进行传输、放置以及托举；上方检测系统，用于对下方检测目标物进行检测；下方检测系统，用于对上方检测目标物进行检测；上下方检测校准系统，用于在校准时分别对上方检测系统和下方检测系统进行坐标检测，实现对上方检测系统和下方检测系统的坐标系的校准匹配。本发明的简易探针台，结构简单、成本低廉，仅需进行前期校准即可实现自动对针和自动补偿探针高度等全自动探针台的功能，满足整张晶圆量产测试的全自动需求。

主权项：1.一种简易探针台，其特征在于，包括探针卡安装调节系统、上方检测系统、晶圆托举与传输系统、下方检测系统、上下方检测校准系统以及主机结构台架：所述探针卡安装调节系统，安装在主机结构台架的上方，用于在校准时安装并调节校准探针卡或在测试时安装并调节测试探针卡；所述晶圆托举与传输系统，安装在主机结构台架的下方，用于对被测晶圆进行传输、放置以及托举；所述上方检测系统，安装在主机结构台架的上方，用于对下方检测目标物进行检测，所述下方检测目标物包括被测晶圆；所述下方检测系统，安装在晶圆托举与传输系统的侧方，用于对上方检测目标物进行检测，所述上方检测目标物包括校准探针卡以及测试探针卡；所述上下方检测校准系统，安装在主机结构台架的侧方，用于在校准时分别对上方检测系统和下方检测系统进行坐标检测，获取上方检测系统与下方检测系统之间的补偿坐标，实现对上方检测系统和下方检测系统的坐标系的校准匹配；其中，所述探针卡安装调节系统，包括探针卡安装座：所述探针卡安装座，用于安装校准探针卡或测试探针卡；所述上方检测系统，包括上方相机以及光学反射镜：所述光学反射镜，安装在主机结构台架上方，将下方的光线反射至上方相机；所述上方相机，通过光学反射镜对下方的检测目标物进行检测；所述下方检测系统，包括下方相机和下方相机安装座：所述下方相机，安装在下方相机安装座上，对上方的检测目标物进行检测；所述下方相机安装座，固定安装在多方向组合运动平台一侧；所述晶圆托举与传输系统，包括晶圆载盘以及多方向组合运动平台：所述晶圆载盘，安装在多方向组合运动平台上；所述多方向组合运动平台，带动晶圆载盘实现多个方向的组合运动；所述上下方检测校准系统，包括掩模版和掩模版调节座：所述掩模版，安装在掩模版调节座上，用于提供参考坐标系，对上方检测系统和下方检测系统进行校准匹配；所述掩模版调节座，固定安装在主机结构台架的一侧，对掩模版的安装位置进行调节。

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