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申请/专利权人:强一半导体(苏州)股份有限公司
摘要:本发明属于探针卡生产技术领域,具体地说是一种对位机构以及探针头制造方法,对位机构包括底板、调节组件、限位组件和成像组件;调节组件包括框架和第一调节件,调节组件包括第一固定组件和第二固定组件,成像组件包括第一摄像头和第二摄像头。第一组件用于固定第一构件,第二固定组件用于固定第二构件,调节组件可带动第一固定组件运动,从而带动下盖板运动,实现下盖板和上盖板间的相对位置调节。成像组件采用光学原理方式,能够辅助判断下盖板与上盖板之间是否已精准对位,例如,通过第一摄像头和第二摄像头准确地获取上盖板和下盖板的位置信息,判定对位偏差,实现对位的修正,以便下盖板与上盖板精准对位。
主权项:1.一种对位机构,其特征在于,包括:底板;调节组件,所述调节组件包括框架和第一调节件,所述框架通过所述第一调节件可调地设置于所述底板上;限位组件,包括第一固定组件和第二固定组件,所述第一固定组件可调安装于所述框架上,用于将待对位的第一构件固定于所述框架内;所述第二固定组件可分离地安装于所述底板上,用于使待对位的第二构件与底板保持相对固定;所述的第一调节件与第一固定组件联动设置,以实现所述第一构件和所述第二构件的相对位置调节;成像组件,包括第一摄像头和第二摄像头,所述第一摄像头与所述第一构件相对,所述第二摄像头与所述第二构件相对,且所述第一摄像头和所述第二摄像头的位置可调,分别用于获取所述第一构件和第二构件的位置信息。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 强一半导体(苏州)股份有限公司 一种对位机构以及探针头的制作方法
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