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申请/专利权人：成都莱普科技股份有限公司
摘要：本申请提供一种激光透过功率的测量方法、装置、电子设备及存储介质，该方法包括：测量激光器所发出激光的原始功率以及激光分别透过多个衰减片后的衰减功率；根据衰减功率与原始功率计算衰减片的衰减系数；获取激光透过待测元件的信号值，并确定出目标衰减片组合；其中，激光透过衰减片组合后的信号值与激光透过待测元件的信号值一致；以及根据目标衰减片组合的目标组合衰减系数与原始功率，计算激光透过待测元件的透过功率。该方法通过确定出所透过激光的信号值与透过待测元件的激光的信号值一致的目标衰减片组合，并根据组合衰减系数与原始功率计算激光透过待测元件的透过功率，降低了对激光对待测元件的损坏的基础之上，提高了测量的精确度。
主权项：1.一种激光透过功率的测量方法，其特征在于，包括：测量激光器所发出激光的原始功率以及所述激光分别透过多个衰减片后的衰减功率；根据所述衰减功率与原始功率计算所述衰减片的衰减系数；获取所述激光透过待测元件的信号值，并确定出目标衰减片组合；其中，所述激光透过所述衰减片组合后的信号值与所述激光透过所述待测元件的信号值一致；以及根据所述目标衰减片组合的目标组合衰减系数与所述原始功率，计算所述激光透过所述待测元件的透过功率；所述获取所述激光透过待测元件的信号值，并确定出目标衰减片组合，包括：将不同衰减系数的衰减片或衰减片组合置于所述激光器的光路；读取所述激光透过所述衰减片或衰减片组合后的信号值；以及将所述激光透过所述衰减片或衰减片组合的信号值与所述激光透过所述待测元件的信号值一致的一者，确定为所述目标衰减片组合；其中，所述激光包括脉冲激光；所述待测元件包括键合硅晶圆。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 成都莱普科技股份有限公司 激光透过功率的测量方法、装置、电子设备及存储介质
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