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申请/专利权人：三菱化学株式会社
摘要：一种二氧化硅涂层的形成方法，其特征在于，其是使用燃烧器4将二氧化硅喷镀在石英制基材1的外周面而形成二氧化硅涂层的方法，该方法中，将导热系数在25℃下为30Wm·k以上的导热材料嵌入石英制基材1的内孔中，以石英制基材1内周面与导热材料5的外周面接触的状态进行喷镀。
主权项：1.一种石英构件的制造方法，其为由石英制基材制造石英构件的石英构件的制造方法，该方法包括使石英制基材与导热系数在25℃下为30Wm·K以上的导热材料抵接的抵接工序。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三菱化学株式会社 石英构件的制造方法、二氧化硅涂层的形成方法及石英制构件表面的平滑化方法
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