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申请/专利权人：三和技研股份有限公司
摘要：本实用新型为一种晶圆映射机构，其用于整合在一晶圆装卸机loadport之中，且主要包括：一第一直线驱动模块、一第二直线驱动模块、一支架、以及设置在该支架上的多个传感器其中。其中，该第一直线驱动模块运转以带动该支架沿着一垂直方向进行向上移动或向下，且该第二直线驱动模块运转以带动该支架沿着一水平方向进行向前移动或向后移动，借此方式对容置于一晶圆载盒内的至少一晶圆进行一映像信息收集。
主权项：1.一种晶圆映射机构，其特征在于，包括：一第一安装板；一第一直线驱动模块，连接至该第一安装板的一第一表面；一第二直线驱动模块，连接至该第一安装板的一第二表面，其中该第二表面与该第一表面彼此相对；一支架，连接该第二直线驱动模块；一第一发射器，安装在该支架之上；一第一接收器，安装在该支架之上，且与该第一发射器之间具有一第一间距；一第二发射器，安装在该支架之上；以及一第二接收器，安装在该支架之上，且与该第二发射器之间具有一第二间距；其中，该第一直线驱动模块运转以带动该第一安装板、该第二直线驱动模块与该支架沿着一第一方向进行顺向移动或反向移动；其中，该第二直线驱动模块运转以带动该支架沿着一第二方向进行顺向移动或反向移动，且该第二方向与该第一方向正交。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三和技研股份有限公司 晶圆映射机构及包含其的晶圆装卸机
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