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直拉硅界面深度测量仪 

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申请/专利权人:阿特斯阳光电力集团股份有限公司;西宁阿特斯光伏科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种直拉硅界面深度测量仪,其属于光伏制造技术领域,直拉硅界面深度测量仪包括主架体和测量件。沿所述主架体的长度方向于所述主架体上设置有主架体刻度;测量件活动穿设于所述主架体的中点处,所述测量件能够沿自身轴线方向往复运动,沿所述测量件的轴线方向于所述测量件上设置有测量刻度,所述测量件的轴线方向垂直于所述主架体的长度方向。该直拉硅界面深度测量仪能够准确找到凹陷结构的中心位置,也即单晶硅棒的轴线位置,进而准确测量凹陷结构的深度。

主权项:1.直拉硅界面深度测量仪,其特征在于,包括:主架体1,沿所述主架体1的长度方向于所述主架体1上设置有主架体刻度;测量件2,活动穿设于所述主架体1的中点处,所述测量件2能够沿自身轴线方向往复运动,沿所述测量件2的轴线方向于所述测量件2上设置有测量刻度,所述测量件2的轴线方向垂直于所述主架体1的长度方向。

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权利要求:

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