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申请/专利权人：天津华创芯微科技发展有限公司
摘要：本实用新型公开了一体化化学气相沉积用辅助设备，包括壳体，所述壳体的内底部设置有放置架；进气辅助机构，所述进气辅助机构包括固定连接在壳体右侧的安装板，所述安装板的上端安装有活塞筒，所述活塞筒内设置有可上下滑动的活塞块，所述活塞块的下端与活塞筒的内底部通过弹簧弹性连接，所述活塞筒的顶部空间连通有连接管，所述连接管的另一端延伸至壳体的内顶部空间，所述活塞筒的顶部空间连通有主管道，所述主管道的另一端连通有多个分支管；气体混合机构。通过活塞筒的设置，方便注入气体，实际的使用效果较好，另外，还设置有弯管和搅动叶等结构，进一步的保证了壳体内部气体的均匀性。
主权项：1.一体化化学气相沉积用辅助设备，其特征在于，包括：壳体1，所述壳体1的内底部设置有放置架2；进气辅助机构，所述进气辅助机构包括固定连接在壳体1右侧的安装板5，所述安装板5的上端安装有活塞筒6，所述活塞筒6内设置有可上下滑动的活塞块10，所述活塞块10的下端与活塞筒6的内底部通过弹簧14弹性连接，所述活塞筒6的顶部空间连通有连接管4，所述连接管4的另一端延伸至壳体1的内顶部空间，所述活塞筒6的顶部空间连通有主管道，所述主管道的另一端连通有多个分支管9；气体混合机构，所述气体混合机构用于对活塞筒6的内的气体进行混合。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津华创芯微科技发展有限公司 一体化化学气相沉积用辅助设备
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