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申请/专利权人：洛阳中硅高科技有限公司
摘要：本实用新型涉及半导体技术领域，具体涉及一种用于制备棒状硅基材料的化学气相沉积装置，包括炉筒、底盘、设置于底盘上的进气口和出气口、设置于底盘上的电极，炉筒内设置有载体，所述载体通过石墨连接件与电极连接，还包括设置于底盘上的隔热导流部件。本实用新型通过在化学气相沉积装置内设置隔热导流部件，可使气流不断受热从而加快气体的上升流速，提高沉积层的致密度，改善沉积多晶硅材料或者碳化硅材料的表观质量；在隔热导流部件内部形成上升气流，隔热导流部件与炉筒之间形成下降气流，阻隔上下气流、内外气流的相互干扰，形成稳定的物料循环流动轨迹，降低物料的反应停滞时间，提高物料反应转化率。
主权项：1.一种用于制备棒状硅基材料的化学气相沉积装置，其特征在于，包括炉筒、底盘、设置于底盘上的进气口和出气口、设置于底盘上的电极，炉筒内设置有载体，所述载体通过石墨连接件与电极连接，还包括设置于底盘上的隔热导流部件。
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权利要求：
百度查询： 洛阳中硅高科技有限公司 一种用于制备棒状硅基材料的化学气相沉积装置
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