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申请/专利权人：中北大学
摘要：本发明属于传感技术领域，公开了一种全刚性封装耐高温光纤法珀腔加速度传感器及其装配方法，包括封装底座，封装底座一端设置有安装孔，另一端端面设置有第一沉槽，膜片盖板与封装底座另一端固定连接进而夹紧固定在封装底座与膜片盖板之间的敏感膜片；且膜片盖板靠近封装底座的一端设置有第二沉槽；封装套管设置在膜片盖板外周，并与封装底座固定连接，用于封闭膜片盖板与封装底座的连接处；膜片盖板中心设置有中心通孔，空心刚玉管设置在中心通孔内，光纤的一端固定设置在空心刚玉管内，并位于第二沉槽底面，与敏感膜片形成法布里‑珀罗谐振腔。本发明可以对敏感单元进行有效保护和固定，并可以保证特殊条件下的测量精度。
主权项：1.一种全刚性封装耐高温光纤法珀腔加速度传感器，其特征在于，包括：封装底座1、膜片盖板2、封装套管3、敏感膜片7、空心刚玉管5、光纤6；所述封装底座1一端设置有安装孔12，另一端端面设置有第一沉槽11，所述膜片盖板2与封装底座1另一端通过螺栓固定连接进而夹紧固定在封装底座1与膜片盖板2之间的敏感膜片7；且膜片盖板2靠近封装底座1的一端设置有第二沉槽21；所述敏感膜片7为单悬臂梁-质量块形状，其包括外侧的方形框71和内侧的质量块72，方形框71和质量块72通过连接臂73连接；所述封装套管3设置在所述膜片盖板2外周，并与所述封装底座1固定连接，用于封闭所述膜片盖板2与封装底座1的连接处；所述膜片盖板2中心设置有中心通孔22，所述空心刚玉管5设置在所述中心通孔22内，所述光纤6的一端固定设置在所述空心刚玉管5内，并位于所述第二沉槽21底面，与所述敏感膜片7形成法布里-珀罗谐振腔，另一端穿过所述膜片盖板2和封装套管3的尾部输出振动调制后的光信号。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中北大学 全刚性封装耐高温光纤法珀腔加速度传感器及其装配方法
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