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申请/专利权人：国鲸合创(青岛)科技有限公司;国鲸科技(广东横琴粤澳深度合作区)有限公司
摘要：本发明涉及光电材料领域，提供一种蓝宝石基碲氮共掺氧化锌透明导电材料生产方法及设备，方法包括：通过等离子体增强原子层沉积法，在蓝宝石基底的表面依次形成多层应力调控结构，包括第一氧化锌层、锌镁氧层、第二氧化锌层以及氧化铝模板层，锌镁氧层的晶格常数小于氧化锌的晶格常数和蓝宝石的晶格常数，锌镁氧层的热膨胀系数大于氧化锌的热膨胀系数和蓝宝石的热膨胀系数；对形成有多层应力调控结构的蓝宝石基底退火，以使第一氧化锌层、锌镁氧层和第二氧化锌层均形成孔隙；通过脉冲磁控溅射法，在退火后的蓝宝石基底的氧化铝模板层的表面形成碲氮共掺氧化锌层。实现蓝宝石基底上氧化锌层致密、平整、低应力、低缺陷密度的生长。
主权项：1.一种蓝宝石基碲氮共掺氧化锌透明导电材料生产方法，其特征在于，包括：通过等离子体增强原子层沉积法，在蓝宝石基底的表面形成多层应力调控结构，所述多层应力调控结构包括依次沉积在所述蓝宝石基底的表面的第一氧化锌层、锌镁氧层、第二氧化锌层以及氧化铝模板层，所述锌镁氧层的晶格常数小于氧化锌的晶格常数和蓝宝石的晶格常数，所述锌镁氧层的热膨胀系数大于氧化锌的热膨胀系数和蓝宝石的热膨胀系数；对形成有所述多层应力调控结构的所述蓝宝石基底退火，以使所述第一氧化锌层、所述锌镁氧层和所述第二氧化锌层均形成孔隙；对形成有所述第一氧化锌层、所述锌镁氧层、所述第二氧化锌层和所述氧化铝模板层的所述蓝宝石基底退火，包括：在工作压强为0.5Torr至1Torr，且所述蓝宝石基底的加热温度为750℃至1100℃的条件下，通入流量为0.5scmm至1sccm的氢气，将所述蓝宝石基底退火20分钟至40分钟；通过脉冲磁控溅射法，在退火后的所述蓝宝石基底的所述氧化铝模板层的表面形成碲氮共掺氧化锌层。
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权利要求：
百度查询： 国鲸合创(青岛)科技有限公司 国鲸科技(广东横琴粤澳深度合作区)有限公司 蓝宝石基碲氮共掺氧化锌透明导电材料生产方法及设备
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