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一种TVS器件及其制造方法 

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申请/专利权人:上海晶岳电子有限公司

摘要:本发明提供了一种TVS器件及其制造方法,其中TVS器件包括:基板主体,所述基板主体包括元胞区、触发区和终端区;所述元胞区中形成有MOS管,所述触发区中形成有TVS管,所述TVS管为N型半导体和P半导体相互间隔的结构;所述基板主体上形成有栅极电阻、栅极结构、互连金属;构成所述TVS管、所述栅极电阻和所述栅极结构的材料在同一工艺步骤中形成;所述栅极结构与所述MOS管的栅极相连接;所述互连金属使所述TVS管的阳极通过所述栅极结构与所述MOS管的栅极相连接;使所述栅极电阻并联于所述TVS管的阳极与所述MOS管的源极之间;使所述MOS的漏极与所述TVS管的阴极相连。

主权项:1.一种TVS器件,其特征在于,包括:基板主体,所述基板主体包括元胞区、触发区和终端区;所述元胞区中形成有MOS管,所述触发区中形成有TVS管,所述TVS管为N型半导体和P半导体相互间隔的结构;所述基板主体上形成有栅极电阻、栅极结构、互连金属;构成所述TVS管、所述栅极电阻和所述栅极结构的材料在同一工艺步骤中形成;所述栅极结构与所述MOS管的栅极相连接;所述互连金属使所述TVS管的阳极通过所述栅极结构与所述MOS管的栅极相连接;使所述栅极电阻并联于所述TVS管的阳极与所述MOS管的源极之间;使所述MOS管的漏极与所述TVS管的阴极相连。

全文数据:

权利要求:

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