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电子级六氟化钨的分离纯化设备及其制备方法 

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申请/专利权人:江苏元佳新材料有限公司

摘要:本发明涉及提纯技术领域,且公开了电子级六氟化钨的分离纯化设备,包括底舱,所述底舱顶部固定有塔体,所述底舱中部转动连接有出料管,所述塔体内部上方转动连接有料筒,所述料筒内部设有中柱,所述中柱内部转动连接有气管,所述料筒底部位于所述塔体内部固定有底环,通过在外滤筒与所述内滤筒之间填装钨粒,利用钨粒纯化分离六氟化钨气体中的杂质,从而分离纯化出六氟化钨;通过曲柄等结构传动使通过连杆拉动与推动料板伸缩移动,从而使出料口打开或关闭,自动排出已使用的钨粒并填充补充新的钨粒;并且根据驱动设备功率控制出料管等结构转动速度,从而使电子级六氟化钨纯化效率与钨粒更换速度得以同步控制。

主权项:1.电子级六氟化钨的分离纯化设备,包括底舱(1),其特征在于:所述底舱(1)顶部固定有塔体(2),所述底舱(1)中部转动连接有出料管(24),所述塔体(2)内部上方转动连接有料筒(3),所述料筒(3)内部设有中柱(4),所述中柱(4)内部转动连接有气管(20),所述料筒(3)底部位于所述塔体(2)内部固定有底环(5),所述塔体(2)内侧壁开设有蒸汽腔(13),所述蒸汽腔(13)内部固定有挡筒(14),所述挡筒(14)外表面左右侧均开设有若干蒸汽孔一(15),所述底环(5)底部固定有外滤筒(6),所述中柱(4)底部位于所述气管(20)外表面固定有内滤筒(7),所述内滤筒(7)底部固定有底盘(8),所述外滤筒(6)底部固定有底座(9),所述底座(9)位于所述塔体(2)内部下方,所述底座(9)下表面与所述出料管(24)顶部固定连接,所述底盘(8)位于所述底座(9)内侧,所述底座(9)内部下表面中心处贯穿开设有出料口(22),所述出料口(22)内部与所述出料管(24)内部相连通,所述底舱(1)内部下表面设有若干加热器(12),所述底舱(1)右侧连通有进管(11),所述蒸汽腔(13)内部下表面左右侧均贯穿开设有蒸汽孔二(16),所述蒸汽孔二(16)与所述底舱(1)内部相连通,所述蒸汽腔(13)内部下表面位于所述蒸汽孔二(16)上方设有橡胶片(17),两个所述橡胶片(17)相背端均与所述蒸汽腔(13)内部下表面固定连接;所述挡筒(14)内表面对称固定有两个挡条(18),四个所述挡条(18)均分为两组,每组两个所述挡条(18)分别位于所述蒸汽孔一(15)前后方,所述两个挡条(18)之间转动连接有若干橡胶板(19),所述橡胶板(19)数量与所述蒸汽孔一(15)数量相同,所述橡胶板(19)外表面与所述蒸汽孔一(15)靠近所述外滤筒(6)的一侧端口相贴合;所述塔体(2)外表面上方固定有外盘(37),所述料筒(3)外表面开设有若干齿槽二(38),所述塔体(2)上表面对称转动连接有齿轮四(39),所述料筒(3)通过所述齿槽二(38)与所述齿轮四(39)啮合连接,所述齿轮四(39)上表面靠近所述料筒(3)的一侧固定有偏心杆(40),所述偏心杆(40)外表面位于所述齿轮四(39)上方活动连接有摆架(41),所述摆架(41)前表面固定有滑杆(42),所述滑杆(42)外表面滑动连接有滑架(43),所述滑架(43)底端与所述塔体(2)上表面固定连接,所述摆架(41)远离所述料筒(3)的一侧啮合连接有齿轮五(44),所述齿轮五(44)下表面中心处固定有转杆(45),所述转杆(45)底端贯穿至所述外盘(37)内部,且固定有齿轮六(46),所述齿轮六(46)外表面从外向内依次啮合连接有齿条一(47)、齿条二(48),所述塔体(2)外表面开设有四个贯穿式通槽(49),前方两个所述通槽(49)内部滑动连接有连块(51),后方两个所述通槽(49)内部滑动连接有连条(52),所述蒸汽腔(13)内部滑动连接有四个活塞板(50),四个所述活塞板(50)外表面分别与两个连条(52)、两个所述连块(51)固定连接;两个所述连条(52)外表面均固定有弧板(10),所述弧板(10)内侧壁与所述塔体(2)外表面相贴合;所述出料口(22)内表面开设有四个滑道(23),所述滑道(23)内部滑动连接有料板(27),四个所述料板(27)相背端均位于所述出料口(22)内部,所述滑道(23)内部下表面转动连接有齿轮一(28),所述滑道(23)上表面位于所述齿轮一(28)上方转动连接有齿轮二(30),所述齿轮二(30)下表面中心处与所述齿轮一(28)上表面中心处之间共同固定有曲柄(29),所述曲柄(29)外表面转动连接有连杆(34),所述连杆(34)远离所述齿轮一(28)的一端与所述料板(27)内侧转动连接,所述底盘(8)上表面位于所述内滤筒(7)与所述外滤筒(6)之间开设有贯穿式料孔(32),所述料孔(32)内部穿设有绞龙杆(33),所述绞龙杆(33)底端贯穿至所述滑道(23)内部,且固定有齿轮三(31),所述齿轮三(31)与所述齿轮二(30)啮合连接,四个所述滑道(23)相背端均延伸至所述底座(9)外表面,所述塔体(2)内表面下方开设有若干齿槽一(35),所述塔体(2)通过所述齿槽一(35)与四个齿轮一(28)啮合连接。

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