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申请/专利权人：江苏美阳电子材料有限公司
摘要：本实用新型公开了一种氨水纯化装置，包括底座，在所述底座的顶部一侧设置控制箱，所述控制箱的侧边设置有至少两个纯化罐，该纯化罐的底端面放置在底座上，所述底座的顶部还设置有拆装组件，该拆装组件包括：安装件，固定在底座的顶端面上，该安装设置在两个纯化罐之间，并与纯化罐不接触；限位件，可调式设置在安装件上；通过设计的拆装组件，能够根据纯化罐的高度做出对应位置的调节，满足正常安装需求，有效提升安装的灵活性，也便于后期集成电路芯片的制造，同时整个安装过程中，不会受到其他管道的影响，操作起来十分简单，该拆装组件结构紧凑，加工方便，具有较高的实用性，在后期集成电路制造芯片的过程中，整体工作效率更加高效。
主权项：1.一种氨水纯化装置，包括底座100，在所述底座100的顶部一侧设置控制箱101，所述控制箱101的侧边设置有至少两个纯化罐102，该纯化罐102的底端面放置在底座100上，其特征在于：所述底座100的顶部还设置有拆装组件，该拆装组件包括：安装件，固定在底座100的顶端面上，该安装设置在两个纯化罐102之间，并与纯化罐102不接触；限位件，可调式设置在安装件上，该限位件锁紧套设在纯化罐102的外部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏美阳电子材料有限公司 一种氨水纯化装置
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