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申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司
摘要：本公开提供了一种样品载台及其使用方法，涉及透射电子显微镜技术领域，其中，该样品载台包括：样品座，用于承载待测样品；第一齿轮，第一齿轮平行于径向方向的侧面沿样品载台的长度方向设置，第一齿轮包括空心轮和外齿，样品座固定在空心轮内；第一驱动机构，与外齿连接，第一驱动机构用于带动第一齿轮转动；控制机构，与第一驱动机构电连接。在本公开中，利用控制机构控制第一驱动机构带动第一齿轮能够完成360°旋转，使得样品座能够在较大转动范围旋转，以将待测样品调整至水平状态，从而防止样品座对样品进行遮挡，提升了对样品的检测准确性。
主权项：1.一种样品载台，其特征在于，所述样品载台包括：样品座，用于承载待测样品；第一齿轮，所述第一齿轮平行于径向方向的侧面沿所述样品载台的长度方向设置，所述第一齿轮包括空心轮和外齿，所述样品座固定在所述空心轮内；第一驱动机构，与所述外齿连接，所述第一驱动机构用于带动所述第一齿轮转动；控制机构，与所述第一驱动机构电连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 长鑫存储技术有限公司 一种样品载台及其使用方法
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