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申请/专利权人：山东强茂电子科技有限公司
摘要：本发明公开了一种带有温控载台的晶圆点测机，涉及晶圆点测机技术领域，包括检测台，所述检测台的顶端安装有三轴滑台，所述三轴滑台的Z轴滑台上安装有检测头，所述检测头上安装有探针，所述检测台的顶端位于所述检测头的下方固定连接有三个安装柱，所述安装柱的顶端固定连接有放置台，所述放置台用于对晶圆进行放置操作，还包括控温机构、安装机构和定位机构。本发明设置有控温机构，通过定位机构将晶圆定位在放置台内，晶圆放置在导温板上，连接管输送不同温度的液体通过连接口进入温控台内，导向框使得液体在温控台内充分流动，温控台内的温度通过导温板传递至晶圆上，用于对晶圆的温度进行快速的调节操作。
主权项：1.一种带有温控载台的晶圆点测机，包括检测台（1），所述检测台（1）的顶端安装有三轴滑台（2），所述三轴滑台（2）的Z轴滑台上安装有检测头（3），所述检测头（3）上安装有探针，其特征在于，所述检测台（1）的顶端位于所述检测头（3）的下方固定连接有三个安装柱（4），所述安装柱（4）的顶端固定连接有放置台（5），所述放置台（5）用于对晶圆进行放置操作，晶圆通过控温机构（6）调节温度，所述控温机构（6）包括有温控台（601），所述温控台（601）设置于三个所述安装柱（4）之间并位于所述放置台（5）的底端，所述温控台（601）的外壁安装有两个连接口（602），所述连接口（602）的一端通过连接法兰（604）连接有连接管（603），所述放置台（5）的内腔底端固定连接有导温板（605），所述温控台（601）的顶端开设有连接槽（606），所述连接槽（606）的内壁螺纹连接有顶盖（607），所述连接槽（606）的内壁底端安装有密封圈（608），所述温控台（601）的内腔底端安装有导向框（609），所述温控台（601）通过安装机构（7）安装于所述放置台（5）的底端，不同大小的晶圆通过定位机构（8）定位在所述放置台（5）内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东强茂电子科技有限公司 一种带有温控载台的晶圆点测机
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