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申请/专利权人：深圳市世椿智能装备股份有限公司
摘要：本发明公开了一种基于视觉的半导体晶圆点胶缺陷检测装置，涉及视觉检测技术领域，包括机架，所述机架的上方设置活动柱，所述活动柱的顶端滑动套接固定柱，所述活动柱的一侧开设有转动孔。本发明通过检测机构的设置，将完成点胶的半导体晶圆输送至摄像头下方，利用电动伸缩杆带动摄像头向下移动，使得滑动齿条慢慢远离压块，这时伸缩弹簧带动滑动齿条向上移动进行复位，滑动齿条移动带动固定齿轮、转动环、L形杆和凸透镜进行转动，使得凸透镜转动至摄像头的下方，利用凸透镜对物体放大的效果，使得摄像头对半导体晶圆的点胶位置放大检测，进而能够清楚的对半导体晶圆进行检测，从而提高了对半导体晶圆的检测效果。
主权项：1.一种基于视觉的半导体晶圆点胶缺陷检测装置，包括机架1，其特征在于：所述机架1的上方设置活动柱105，所述活动柱105的顶端滑动套接固定柱104，所述活动柱105的一侧开设有转动孔，还包括；固定轴2，所述固定轴2转动连接于所述转动孔内，所述固定轴2的一端固定连接摄像头201；检测机构，所述检测机构位于所述固定轴2上；所述检测机构包括升降单元、转动单元、摆动单元和挤压单元，所述转动单元包括转动连接于所述固定轴2上的转动环202，所述转动环202的圆柱外侧壁固定连接有L形杆203，所述L形杆203的一端固定连接有凸透镜204，所述转动环202上键连接有固定齿轮205，所述固定齿轮205上啮合有滑动齿条206，所述滑动齿条206上滑动套接有固定板207，所述固定板207的一端固定连接于所述摄像头201的顶部，所述滑动齿条206上套接有伸缩弹簧208，所述伸缩弹簧208的两端分别与所述固定板207以及所述滑动齿条206固定连接，所述固定柱104的一侧固定连接有安装杆210，所述安装杆210的底端固定连接有压块209，所述压块209的底部与所述滑动齿条206的顶端相贴合。
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权利要求：
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