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申请/专利权人:苏州威达数据科技有限公司
摘要:本发明公开了一种晶圆点墨系统及方法,点墨系统包括原始数据处理程序、数据库、点墨操作程序和自动点墨程序;点墨方法包括步骤一,设定点墨规则;步骤二,将测试文件导入数据库;步骤三,根据设定的规则对导入的数据进行点墨;步骤四,合并同晶圆点墨结果;步骤五,确认点墨结果并输出点墨文件;本发明能够根据半导体制程过程中的缺陷数据和测试数据,自动对晶圆中存在风险的晶粒进行数字化点墨,相较于现有的机械化点墨操作,能显著减少点墨的时间,同时,本发明能对机械点墨无法发现的风险晶粒进行点墨,并且能对已经进行了点墨操作的晶粒撤销点墨,有效降低人为操作失误带来的风险,操作更加简单便捷。
主权项:1.一种晶圆点墨系统,包括原始数据处理程序1、数据库2、点墨操作程序3和自动点墨程序4,其特征在于:所述数据库2分别与原始数据处理程序1、点墨操作程序3和自动点墨程序4建立数据连接。
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权利要求:
百度查询: 苏州威达数据科技有限公司 一种晶圆点墨系统及方法
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