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申请/专利权人:江苏福拉特自动化设备有限公司
摘要:本申请提供一种MicroOLED高精度掩模版宏观检查装置及其使用方法,属于掩模版质检设备技术领域,包括由框架与覆盖板拼接形成的长方体结构的检查暗室,覆盖板的顶部一侧设置有过滤组件,框架的内部下方设置有翻转组件,框架的内部上方位置设置有电气组件。上述方案中,通过设置伺服电机一、翻转架一、伺服电机二与翻转架二,丰富掩模版调整的姿态,翻转架一与翻转架二均可提供180°的调节范围,具有灵活的调节效果提高掩膜版宏观检查全面无死角。
主权项:1.一种MicroOLED高精度掩模版宏观检查装置,包括由框架(1)与覆盖板(2)拼接形成的长方体结构的检查暗室,其特征在于,所述覆盖板(2)的顶部一侧设置有过滤组件,所述框架(1)的内部下方设置有翻转组件,所述框架(1)的内部上方位置设置有电气组件;所述过滤组件包括安装于覆盖板(2)开口部位的风机(3),以及设置于所述风机(3)出风位置的过滤盒(301);所述翻转组件包括安装于框架(1)内部右侧的机架(4),所述机架(4)的一侧固定连接有伺服电机一(401),所述伺服电机一(401)的输出端固定连接有翻转架一(402),所述翻转架一(402)的侧壁固定连接有伺服电机二(403),所述伺服电机二(403)的输出端固定连接有翻转架二(404);所述翻转架二(404)的开口部位设置有滑轨(5),所述滑轨(5)的内部设置有可滑动的滑块(501),所述滑块(501)的顶部连接有电动推杆(502),所述电动推杆(502)的伸缩端固定连接有夹块(6),所述夹块(6)侧壁设置有三个连续的台阶;所述电气组件包括设置于框架(1)内部左上角的安装架(7),所述安装架(7)的底部固定连接有光源控制器(701),所述安装架(7)的侧壁设置有位于翻转架一(402)上方的光源一(702),所述光源一(702)的一侧设置有光源二(703);所述框架(1)的竖直部位由挡板(101)覆盖,所述挡板(101)的右侧设置有控制屏幕(8),所述控制屏幕(8)的背面连接有光学检测相机(9)。
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权利要求:
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