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申请/专利权人：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
摘要：本发明公开了一种基底切边控制系统、基底切边系统及基底切边方法，基底切边控制系统包括：反馈单元以及与反馈单元通信连接的电流监测单元和转速控制单元；电流监测单元用于采集刀头电机的电流；反馈单元用于判断刀头电机的电流是否超出预设阈值，若超出，则控制转速控制单元调整载台转速，这样可以方便地在刀头电机驱动刀头对载台上的基底进行切边作业时，对刀头电机电流进行判断并管控，降低了机台报警频率，从而保证了机台和工艺的稳定性。
主权项：1.一种基底切边控制系统，其特征在于，包括：反馈单元以及与所述反馈单元通信连接的电流监测单元和转速控制单元；所述电流监测单元被配置为采集刀头电机的电流，所述刀头电机驱动刀头对载台上的基底进行切边作业；所述反馈单元被配置为判断所述刀头电机的电流是否超出预设阈值，若超出，则控制所述转速控制单元调整所述载台的转速。
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百度查询： 上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司 基底切边控制系统、基底切边系统及基底切边方法
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