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申请/专利权人：华天慧创科技(西安)有限公司

摘要：本发明提供了一种无玻璃基底树脂晶圆级堆叠透镜的加工方法，属于晶圆级透镜技术领域。本发明利用凸面镜金属模具、凹面镜金属模具和平面镜金属模具得到了具有若干凸透镜阵列工作模4、具有若干凹透镜阵列工作模7、平面镜工作模5和平面镜工作模9，将平面镜工作模5与具有若干凹透镜阵列工作模7通过透镜胶水6压印得到树脂凹面透镜8，将平面镜工作模9与具有若干凹透镜阵列工作模4通过透镜胶水6压印得到树脂凹面透镜10，将树脂凹面透镜8与树脂凹面透镜10键合、切割，得到无玻璃基底树脂晶圆级堆叠透镜。本发明得到的无基底树脂晶圆级堆叠透镜，单片厚度在25～40μm。

主权项：1.一种无玻璃基底树脂晶圆级堆叠透镜的加工方法，包括以下步骤：在凸面镜金属模具1上倒入工作模胶水2，用第一工作模基底3-1接触工作模胶水2进行第一压印，第一固化，脱模后在第一工作模基底3-1的底部形成凸透镜压模，得到具有若干凸透镜阵列工作模4；在凹面镜金属模具上倒入工作模胶水2，用第二工作模基底3-2接触工作模胶水2进行第二压印，第二固化，脱模后在第二工作模基底3-2的底部形成凹透镜压模，得到具有若干凹透镜阵列工作模7；在平面镜金属模具上倒入工作模胶水2，用第三工作模基底3-3接触工作模胶水2进行第三压印，第三固化，脱模后在第三工作模基底3-3的底部形成平面镜压模，得到平面镜工作模5；在平面镜金属模具上倒入工作模胶水2，用第四工作模基底3-4接触工作模胶水2进行第四压印，第四固化，脱模后在第四工作模基底3-4的底部形成平面镜压模，得到平面镜工作模9；在所述平面镜工作模5上倒入透镜胶水6，用所述具有若干凹透镜阵列工作模7接触第二工作模胶水6进行第五压印，紫外固化，第二工作模胶水6形成树脂凹面透镜8，脱模后得到由平面镜工作模5和树脂凹面透镜8组成的凹面透镜-工作模复合体；在所述平面镜工作模9上倒入透镜胶水6，用所述具有若干凸透镜阵列工作模4接触第二工作模胶水6进行第六压印，紫外固化，第二工作模胶水6形成树脂凸面透镜10，脱模后得到由平面镜工作模9和树脂凸面透镜10组成的凸面透镜-工作模复合体；将所述凹面透镜-工作模复合体和凸面透镜-工作模复合体进行键合、紫外固化、脱模，得到无玻璃基底树脂晶圆级堆叠透镜。

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