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一种关于IGBT的全区域退化表征方法 

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申请/专利权人:东南大学

摘要:本发明公开了一种关于IGBT的全区域退化表征方法,在IGBT集电极和发射极之间施加从0V逐步增大的负压,在每一个Vce下对IGBT的栅极进行电压扫描并且叠加小信号,栅压扫描范围为Vg1~Vg2。在每一个Vce下,测试Vg1~Vg2下的栅电容Cg,绘制Cg‑Vg曲线并分区。以相同的电压施加方式对退化后的器件再次测试Vg1~Vg2的栅电容Cg值,绘制Cg‑Vg曲线并且以同样的方式分区。对比退化前后曲线不同区域的漂移情况,表征IGBT功率器件全区域的退化情况、损伤程度。本方法可以简单快速地提取IGBT功率器件栅氧层和外延层的退化情况,为IGBT功率器件可靠性的分析提供快速的判定依据。

主权项:1.一种关于IGBT的全区域退化表征方法,其特征在于,执行如下步骤S1-步骤S6,表征待测IGBT器件全区域的退化情况、损伤程度:步骤S1:搭建测试电路,针对待测IGBT器件,用电压源向待测IGBT器件的集电极和发射极之间施加由0V逐步增大的偏置电压,对待测IGBT器件的栅极进行电压扫描并且叠加交流小信号;步骤S2:提取待测IGBT器件的栅极电压扫描过程中每个栅极电压Vg下的栅极电容Cg,绘制栅极电容随栅极电压变化曲线Cg-Vg;步骤S3:将待测IGBT器件的集电极和发射极之间施加的偏置电压值由0V向负压方向逐渐增大,以与步骤S1相同的电压施加方式对栅极进行电压扫描并且叠加交流小信号;步骤S4:重复步骤S2;步骤S5:待测IGBT器件发生由应力引入的退化后,重复步骤S1-步骤S4,再次绘制栅极电容随栅极电压变化曲线Cg-Vg;步骤S6:根据栅极电容Cg的变化,将栅极电容随栅极电压变化曲线Cg-Vg分区,分别表示待测IGBT器件各区域的退化情况,对比待测IGBT器件退化前后栅极电容随栅极电压变化曲线Cg-Vg的横向与纵向漂移情况,基于曲线Cg-Vg的漂移幅度分析待测IGBT器件各区域的损伤程度。

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