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申请/专利权人：中科艾尔(北京)科技有限公司
摘要：本发明涉及半导体设备用阀体密封工装领域，公开了一种膜片下压块密封垫生产工装，其包括：下压柱、下压机构和下压联动机构；下压柱位于与机架固定的固定环内，并与液压机连接，由液压机为下压柱提供向下的动力；下压联动机构，设置在下压柱上，与下压柱配合，将下压动力传递至下压机构；下压机构，其一端与下压联动机构及下压柱的下端的外侧连接，另一端能与密封垫接触；其中，由下压联动机构与下压柱的配合，依次将密封垫和定位轴分别压入膜片下压块的凹槽内、以及密封垫顶部的盲孔内。本发明能一次性实现密封头组装过程中的两个分段压入工序，无需拆卸替换工装，有效的提高了组装效率。
主权项：1.一种膜片下压块密封垫生产工装，其特征在于，包括：下压柱400、下压机构和下压联动机构；下压柱400，位于与机架固定的固定环300内，并与液压机连接，由液压机为下压柱400提供向下的动力；下压联动机构，设置在下压柱400上，与下压柱400配合，将下压动力传递至下压机构；下压机构，其一端与下压联动机构及下压柱400的下端的外侧连接，另一端能与密封垫202接触；其中，由下压联动机构与下压柱400的配合，依次将密封垫202和定位轴203分别压入膜片下压块201的凹槽内、以及密封垫202顶部的盲孔内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中科艾尔(北京)科技有限公司 一种膜片下压块密封垫生产工装
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