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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：一种用于处理腔室的莲蓬头包括具有多个开口的面板。多个隔室凹陷到该面板的顶表面中。该莲蓬头包括多个MEMS设备。每个MEMS设备设置在所述多个隔室中的对应隔室中。印刷电路板耦接到每个MEMS设备，所述印刷电路板包括通过其中的多个端口。每个MEMS设备被配置为调节通过该印刷电路板的该多个端口中的对应端口而流入每个对应隔室的气体流量。
主权项：1.一种用于处理腔室的莲蓬头，所述莲蓬头包括：面板，包括：底表面；顶表面；以及多个开口，从所述顶表面延伸到所述底表面；印刷电路板，与所述面板耦接；多个MEMS设备，与所述印刷电路板耦接，每个MEMS设备与所述多个开口中的一个或多个唯一开口相关联，并被配置为调节通过对应的一个或多个唯一开口的气体流量；以及多个本地控制器，与所述印刷电路板耦接，每个本地控制器被配置为独立于所述多个MEMS设备中其他的MEMS设备的操作而控制所述多个MEMS设备中对应的MEMS设备的操作。
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