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申请/专利权人：延边大学
摘要：本发明涉及薄膜制备技术领域，具体为一种混晶薄膜的中间处理装置，解决了现有在对混晶薄膜的外延材料晶圆进行热处理过程中，由于多个晶圆间隔排列易导致晶圆之间温度升降不统一，不便于对多个晶圆进行稳定放置和根据温度高低进行位置的调节，且热处理时不能够对散热的热量进行有效隔离，易造成人员的烫伤等问题。一种混晶薄膜的中间处理装置，包括固定防护机构、晶圆放置处理机构和隔温处理机构，所述固定防护机构的上端安装有活动防护机构，所述固定防护机构与活动防护机构之间通过锁定连接机构连接。本发明通过对制备混晶薄膜的晶圆进行稳定热处理，能够根据温度变化进行晶圆位置的调节，且利用流动空气便于对热处理散热的热量进行有效隔离，避免烫伤。
主权项：1.一种混晶薄膜的中间处理装置，包括固定防护机构1、晶圆放置处理机构3和隔温处理机构5，其特征在于：所述固定防护机构1的上端安装有活动防护机构2，所述固定防护机构1与活动防护机构2之间通过锁定连接机构4连接，所述固定防护机构1与活动防护机构2的内侧安装有晶圆放置处理机构3，所述晶圆放置处理机构3的内侧安装有多个晶圆主体6，所述所述晶圆放置处理机构3的一侧安装有隔温处理机构5，所述固定防护机构1的一侧安装有状态监测机构7，所述固定防护机构1包括下盒体101，所述下盒体101的内侧固定安装有第一密封弧形罩102，所述第一密封弧形罩102的内侧固定安装有第一隔温罩103；所述隔温处理机构5包括储液箱502，所述储液箱502与下盒体101固定连接，所述储液箱502的内侧安装有多个回流管503，所述回流管503的上端安装有输入管504，所述回流管503与输入管504之间安装有风扇箱505，多个所述回流管503与输入管504通过一个封闭隔板501连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 延边大学 一种混晶薄膜的中间处理装置
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