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申请/专利权人：中国科学院半导体研究所
摘要：本公开提供了一种变形镜及自适应光学系统，变形镜包括：基座；多个驱动柱，以阵列方式垂直地设置在基座上，每个驱动柱包括：轴向叠设的多个压电驱动器，每个压电驱动器被构造成响应于外部的控制信号在轴向方向上延长或收缩，使每个驱动柱在轴向方向上延长或收缩；以及镜面，设置在每个驱动柱上，被构造成跟随每个驱动柱的延长和或收缩在镜面与每个驱动柱的结合处改变对外部输入的信号光的反射角度。
主权项：1.一种变形镜，包括：基座1；多个驱动柱2，以阵列方式垂直地设置在所述基座上，每个所述驱动柱2包括：轴向叠设的多个压电驱动器21，每个所述压电驱动器21被构造成响应于外部的控制信号在轴向方向上延长或收缩，使每个所述驱动柱2在轴向方向上延长或收缩；以及镜面3，设置在每个所述驱动柱2上，被构造成跟随每个所述驱动柱2的延长和或收缩在所述镜面与每个所述驱动柱2的结合处改变对外部输入的信号光的反射角度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院半导体研究所 变形镜及自适应光学系统
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