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申请/专利权人：株式会社斯库林集团

摘要：本发明的目的在于提供一种高效地更换残留的处理液的技术。在填充新的处理液之前，提高残留于配管的处理液的温度。温度高的液体粘度降低而容易从配管排出。残留的处理液被排出后，重新贮存于贮存槽的处理液在外部路径循环。

主权项：1.一种循环装置的控制方法，用以控制循环装置，所述循环装置用以对外部路径进行液体的供给以及回收，其中，所述循环装置具备：贮存槽，将所述液体作为贮存的对象；第一配管，被用于供给所述液体，且具有供所述液体从所述贮存槽流入的第一流入端；第一阀，连接于所述贮存槽，控制所述液体从所述贮存槽朝所述循环装置的外部排出；泵，设置于所述第一配管，将所述液体作为压出的对象，且具有吸入口以及排出口，所述吸入口连接于所述第一流入端；加热器，设置于所述第一配管并连接于所述喷出口，且将所述液体作为加热的对象；第二配管，被用于回收所述液体，且具有供所述液体朝所述贮存槽流出的第二流出端；第二阀，设置于所述第二配管，控制所述液体从所述第二流出端朝所述贮存槽流出；第三配管，该第三配管为所述液体从所述循环装置的外部的液体供给源朝所述贮存槽贮存的路径，且具有供所述液体朝所述贮存槽流出的第三流出端；第三阀，设置于所述第三配管，控制所述液体从所述第三流出端朝所述贮存槽流出；第四配管，在相对于所述第二阀与所述第二流出端相反的一侧连接于所述第二配管，该第四配管为所述液体从所述第二配管朝所述循环装置的外部排出的路径；以及第四阀，设置于所述第四配管，控制所述液体的排出；所述循环装置的控制方法具备：第一工序，在第一期间中将所述第一阀、所述第三阀以及所述第四阀设定成关闭状态且将所述第二阀设定成打开状态，驱动所述加热器而将所述液体升温，驱动所述泵；第二工序，在所述第一期间之后的第二期间中，停止所述泵，将所述第一阀、所述第二阀以及所述第四阀设定成打开状态且将所述第三阀设定成关闭状态；第三工序，在所述第二期间之后的第三期间中，停止所述泵，将所述第一阀设定成关闭状态且将所述第三阀设定成打开状态；以及第四工序，在所述第三期间之后的第四期间中，将所述第一阀、所述第三阀以及所述第四阀设定成关闭状态且将所述第二阀设定成打开状态，驱动所述加热器而将所述液体升温，驱动所述泵。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社斯库林集团 循环装置以及循环装置的控制方法