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申请/专利权人：绵阳炘皓新能源科技有限公司
摘要：本申请提供了一种TOPcon太阳能电池及其制作方法，制备方法包括：在硅基片的正面上从内到外依次沉积硼扩散层、氧化铝层以及复合层，在硅基片的背面上从内到外依次沉积隧穿层、多晶硅层、磷扩散层以及至少一层氮化硅层，每一层所述氮化硅层的内侧面均沉积有氢钝化层；其中，所有氢钝化层的沉积方法均为：先向沉积室内通入氨气实现恒压，然后继续通入氨气实现沉积。通过在沉积氮化硅层之前先沉积一层氢钝化层，增加了原子态的氢来钝化了硅片表面的悬挂键，保证了氢钝化效果，提升了化学钝化性能，提升开路电压，进而提升TOPcon太阳能电池的转换效率0.0805％以上，背面膜层的总厚度为70nm～90nm，折射率为2.0～2.5。
主权项：1.一种背表面加氢膜层钝化的TOPcon太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述制备方法包括：在硅基片的正面上从内到外依次沉积硼扩散层、氧化铝层以及复合层，在硅基片的背面上从内到外依次沉积隧穿层、多晶硅层、磷扩散层以及至少一层氮化硅层，每一层所述氮化硅层的内侧面均沉积有氢钝化层；其中，所有氢钝化层的沉积方法均为：先向沉积室内通入氨气实现恒压，然后继续通入氨气实现沉积；所述氢钝化层总共为四层，所述氮化硅层一共为四层，氢钝化层和氮化硅层的顺序分别为：第一氢钝化层、第一氮化硅层、第二氢钝化层、第二氮化硅层、第三氢钝化层、第三氮化硅层、第四氢钝化层以及第四氮化硅层，第一氢钝化层紧邻所述磷扩散层；沉积所述第一氢钝化层时，恒压所需氨气的流量为11000~12500mlmin，所需时间为15~25s，沉积所需氨气的流量为11000~12500mlmin，所需时间为55~65s；沉积所述第二氢钝化层时，恒压所需氨气的流量为15000~17000mlmin，所需时间为15~25s，沉积所需氨气的流量为15000~17000mlmin，所需时间为55~65s；沉积所述第三氢钝化层和第四氢钝化层时，恒压所需氨气的流量为17500~19000mlmin，所需时间为15~25s，沉积所需氨气的流量为17500~19000mlmin，所需时间为55~65s。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 绵阳炘皓新能源科技有限公司 TOPcon太阳能电池及其制作方法
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