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申请/专利权人：光本位科技(苏州)有限公司
摘要：本发明涉及一种光波导及其制备方法，光波导包括光波导层，以及位于光波导层上的调制层，光波导层和调制层之间设置有第一隔离层，且所述调制层上覆盖有第一保护层，还包括：围绕在所述第一隔离层和所述调制层靠近所述第一隔离层的第一区域周围的第二隔离层，以及围绕在所述第一保护层、所述调制层靠近所述第一保护层的第二区域、所述第二隔离层和所述光波导层周围的第二保护层；其中，所述调制层被包裹在由所述第一保护层、所述第二保护层、所述第一隔离层和所述第二隔离层围合形成的密闭腔内，且所述调制层包括相变材料层或所述调制层为相变材料层。本发明的该光波导中调制层对光的调制更稳定。相应地，本发明还提供了一种制备前述光波导的方法。
主权项：1.一种制备光波导的方法，其特征在于，包括步骤：S1011，在衬底上集成光波导层，形成光波导平台；S1013，在外露于衬底之上的所述光波导层的外表面通过物理气相沉积或化学气相沉积形成第四厚度H4的第二停止层和第二厚度H2的第二氧化层，其中，所述第二停止层位于所述光波导层上方，且所述第二停止层的宽度大于所述光波导层的宽度；所述第四厚度H4为1nm～100nm；S1015，通过区域性刻蚀方法进行所述第二停止层和所述第二氧化层的开窗工艺，使得所述第二停止层在所述光波导层上形成厚度小于所述第四厚度H4的第一隔离层，以及围绕在所述第一隔离层周围的所述第二隔离层，所述第四厚度H4小于预设的第一厚度H1；S1017，采用第一薄膜沉积工艺将相变材料通过物理气相沉积方法沉积至窗口内露出的所述第一隔离层的表面，形成预设厚度的相变材料层；所述预设厚度与所述第一隔离层的厚度之和大于所述第四厚度；S1019，采用第二薄膜沉积工艺将与步骤S1013中同样材质的氧化层沉积至所述相变材料层实现覆盖，得到第六厚度的第一保护层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 光本位科技(苏州)有限公司 一种光波导及其制备方法
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