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申请/专利权人：通威微电子有限公司
摘要：本发明提供了一种可自动补硅的碳化硅晶体生长装置，属于晶体生长领域，本装置在石墨坩埚的底壁设置石墨筒以及滑动连接于石墨筒内的补硅筒，并且在石墨筒和补硅筒上分别开设第一气孔和第二气孔，通过升降电机驱动升降杆带动补硅筒上下滑动，从而有效控制第一气孔和第二气孔的连通和断开。在晶体生长前期控制第一气孔和第二气孔断开，避免补硅筒内的硅气相依次通过第二气孔和第一气孔进入石墨坩埚内，在晶体生长中后期控制第一气孔和第二气孔连通，使得补硅筒内的硅气相依次通过第二气孔和第一气孔进入石墨坩埚以进行补硅，如此可以使得补硅可控，从而保证碳化硅晶体的生长质量。
主权项：1.一种可自动补硅的碳化硅晶体生长装置，其特征在于，包括：保温室（100）；加热器（200），所述加热器（200）位于所述保温室（100）内；石墨坩埚（300），所述石墨坩埚（300）用于盛装碳化硅粉料（800），所述石墨坩埚（300）位于所述保温室（100）内且被所述加热器（200）围绕；石墨筒（400），所述石墨筒（400）穿设所述石墨坩埚（300）的底壁和所述保温室（100）的底壁，所述石墨筒（400）位于所述石墨坩埚（300）内的侧壁设置有第一气孔（410）；升降电机（700），所述升降电机（700）位于所述保温室（100）外；补硅筒（500），所述补硅筒（500）用于盛装硅粉料（900），所述补硅筒（500）的侧壁上设置有第二气孔（510），所述补硅筒（500）滑动连接于所述石墨筒（400）内且通过升降杆（600）与所述升降电机（700）连接，用于在所述升降电机（700）的驱动下上下滑动从而使所述第二气孔（510）与所述第一气孔（410）连通或者断开。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 通威微电子有限公司 可自动补硅的碳化硅晶体生长装置
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