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申请/专利权人：西安工业大学
摘要：本发明公开了一种事故容错锆包壳表面MoFeCrAlMo复合涂层的制备方法，依次经过锆合金清洗、复合涂层溅射的方式在锆合金基体表面溅射复合涂层，该涂层由外向内依次是FeCrAlMo高熵合金层和Mo层，复合涂层力学性能好，涂层牢固，该涂层Mo层在高温下可以有效减缓或阻止高熵合金涂层中的Fe、Cr元素向锆基体扩散，从而避免或减少金属间化合物的生成，改善涂层结合的稳定性，大幅度提升涂层的防护性能；此外，多元FeCrAlMo高熵合金可以降低氧在合金中的溶解度，更有利于氧化物隔离层的形成，FeCrAlMo高熵合金层和Mo层协同共同提升该防护层的性能。本发明适用于核用事故容错锆包壳表面防护。
主权项：1.一种事故容错锆包壳表面MoFeCrAlMo复合涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、对锆合金基体依次进行除油处理和清洗；S2、以FeCrAlMo高熵合金靶和金属Mo靶为溅射源、氩气为工作气体，将清洗后的锆合金试样送入磁控溅射设备真空腔内样品台上，采用射频电源1或直流电源在锆合金试样表面先溅射一层Mo层，再用射频电源2在Mo层上面溅射FeCrAlMo高熵合金涂层，最终在锆合金基体上沉积出MoFeCrAlMo复合涂层；其中，沉积过程中，所述锆合金基体温度为室温，所述锆合金基体偏压为0V，工件架转速为2rmin，靶基距为70mm，所述氩气流量为10sccm，金属Mo靶连接射频电源1或直流电源，Mo靶功率为150W，沉积时间为60～120min，FeCrAlMo高熵合金靶连接射频电源2，FeCrAlMo高熵合金靶功率为175W，沉积时间为240min。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安工业大学 一种事故容错锆包壳表面Mo/FeCrAlMo复合涂层的制备方法
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