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申请/专利权人：安徽熙泰智能科技有限公司
摘要：本发明公开了一种静电吸附掩模板及其制作方法，所述制作方法包括：提供基板；在所述基板上形成第一金属层；在所述第一金属层表面形成图案化的隔离层；形成第三金属层，所述第三金属层覆盖所述图案化的隔离层和第一金属层；刻蚀覆盖隔离层位置的第三金属层，形成沟槽，所述覆盖隔离层位置的剩余的第三金属层构成静电吸附导电层；刻蚀所述第三金属层与所述第一金属层的叠层，形成掩模图案的通孔，所述隔离层侧壁的第三金属层和所述隔离层下方的第一金属层构成静电屏蔽导电层；去除所述掩模图案区域的基板。本发明提供的静电吸附掩模板在使用过程中，电力线无法影响气相沉积材料的分子轨迹，以增加薄膜沉积质量，降低堵孔风险。
主权项：1.一种静电吸附掩模板的制作方法，其特征在于，包括：提供基板；在所述基板上形成第一金属层；在所述第一金属层表面形成图案化的隔离层，所述图案化的隔离层用于形成掩模图案；形成第三金属层，所述第三金属层覆盖所述图案化的隔离层和第一金属层；刻蚀覆盖隔离层位置的第三金属层，形成沟槽，所述覆盖隔离层位置的剩余的第三金属层构成静电吸附导电层；刻蚀所述第三金属层与所述第一金属层的叠层，形成掩模图案的通孔，所述隔离层侧壁的第三金属层和所述隔离层下方的第一金属层构成静电屏蔽导电层；去除所述掩模图案区域的基板。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽熙泰智能科技有限公司 静电吸附掩模板及其制作方法
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