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申请/专利权人：宿迁江松科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种硅片掩膜条吸放组件，包括固定支架，固定支架的顶端固定安装有伺服电机，伺服电机的输出轴固定连接丝杆，丝杆转动连接固定支架的中部，丝杆通过螺纹结构连接升降板，升降板的两端分别滑动连接固定支架，升降板的一端面固定连接升降支架，升降支架的底部固定连接安装框，安装框的底部卡接有若干卡接组件，卡接组件的底部均固定连接有支撑板，支撑板的底端两侧均分别固定安装有夹爪气缸，夹爪气缸的夹爪均固定连接有夹板。通过卡接组件卡接安装在安装框上，卡接的设置，方便对夹持部位进行快速的拆装更换，方便后续的检修更换操作。
主权项：1.一种硅片掩膜条吸放组件，包括固定支架1，其特征在于：所述固定支架1的顶端固定安装有伺服电机2，所述伺服电机2的输出轴固定连接丝杆3，所述丝杆3转动连接固定支架1的中部，所述丝杆3通过螺纹结构连接升降板4，所述升降板4的两端分别滑动连接固定支架1，所述升降板4的一端面固定连接升降支架5，所述升降支架5的底部固定连接安装框6，所述安装框6的底部卡接有若干卡接组件10，所述卡接组件10的底部均固定连接有支撑板7，所述支撑板7的底端两侧均分别固定安装有夹爪气缸8，所述夹爪气缸8的夹爪均固定连接有夹板9。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宿迁江松科技有限公司 一种硅片掩膜条吸放组件
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