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申请/专利权人：湖南德智新材料有限公司
摘要：本发明涉及碳化钽（TaC）材料的技术领域，提供了复合材料及其制备方法和应用，该方法包括在基材表面依次化学气相沉积含氧TaC涂层和TaC涂层；沉积含氧TaC涂层的气体体系包含Ta源、C源、O源、还原气体和稀释气体，且O源的通入量使得以重量计的含氧TaC涂层中氧元素的含量为1000ppm以下；沉积含氧TaC涂层和TaC涂层的条件分别包括：沉积温度为1100℃‑1500℃，压力为1kPa‑5kPa。该方法能够在较低温度下制备得到晶粒尺寸适中且均一的TaC涂层，所述涂层致密度更高，且具有更优异的高温稳定性和抗氧化能力。
主权项：1.一种复合材料的制备方法，其特征在于，该方法包括在基材表面依次化学气相沉积含氧TaC涂层和TaC涂层，得到所述复合材料；沉积含氧TaC涂层的气体体系包含Ta源、C源、O源、还原气体和稀释气体，且O源的通入量使得以重量计的含氧TaC涂层中氧元素的含量为1000ppm以下；沉积含氧TaC涂层的条件包括：沉积温度为1100℃-1500℃，压力为1kPa-5kPa；沉积TaC涂层的气体体系包含Ta源、C源、还原气体和稀释气体；沉积TaC涂层的条件包括：沉积温度为1100℃-1500℃，压力为1kPa-5kPa；且沉积含氧TaC涂层与沉积TaC涂层的条件使得所述含氧TaC涂层占含氧TaC涂层和TaC涂层总厚度的10-50%。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖南德智新材料有限公司 复合材料及其制备方法和应用
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