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申请/专利权人:上海质谱谱峰科技有限公司
摘要:本实用新型提供了一种过程质谱仪进样气体处理装置,包括用于气体加压的真空泵、用于气体干燥的气体干燥器和用于稳定气体压力的稳压阀,沿气体走向,所述真空泵、气体干燥器和稳压阀顺次连接,所述真空泵连接有进气管路,所述稳压阀连接有排气管路。具有体积小、装配简单等优点,降低了加工、生产和维护成本。
主权项:1.一种过程质谱仪进样气体处理装置,其特征在于,包括用于气体加压的真空泵、用于气体干燥的气体干燥器和用于稳定气体压力的稳压阀,沿气体走向,所述真空泵、气体干燥器和稳压阀顺次连接,所述真空泵连接有进气管路,所述稳压阀连接有排气管路。
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百度查询: 上海质谱谱峰科技有限公司 过程质谱仪进样气体处理装置
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