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申请/专利权人：开封宸亚新能源有限公司;西尔克斯科技有限公司;开封国投投资有限公司
摘要：本实用新型提供了一种真空镀膜生产线，包括：基体，基体内部具有真空腔；多个平行布置的基板传输辊道，设置于真空腔内用以运输基板；轴承座组，包括布置于基板传输辊道的轴向方向上的两侧的两个轴承座，多个基板传输辊道通过轴承设置于轴承座上，轴承座内设置有流道，流道具有流道进口和流道出口，基体上设置有分别与流道进口和流道出口对应并连通的第一过流口和第二过流口，流道进口与第一过流口之间密封连接，流道出口与第二过流口之间密封连接。应用本实用新型的技术方案能够有效地解决现有技术中真空镀膜生产线的轴承寿命短的问题。
主权项：1.一种真空镀膜生产线，其特征在于，包括：基体10，所述基体10内部具有真空腔11；多个平行布置的基板传输辊道20，设置于所述真空腔11内用以运输基板1；轴承座组30，包括布置于所述基板传输辊道20的轴向方向上的两侧的两个轴承座31，多个所述基板传输辊道20通过轴承40设置于所述轴承座31上，所述轴承座31内设置有流道311，所述流道311具有流道进口312和流道出口313，所述基体10上设置有分别与所述流道进口312和所述流道出口313对应并连通的第一过流口12和第二过流口13，所述流道进口312与所述第一过流口12之间密封连接，所述流道出口313与所述第二过流口13之间密封连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 开封宸亚新能源有限公司 西尔克斯科技有限公司 开封国投投资有限公司 真空镀膜生产线
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