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申请/专利权人：汪正军
摘要：本实用新型涉及半导体加工技术领域，且公开了一种半导体制备用层压装置，包括防护架，所述防护架的底部连接有底板，所述底板的顶部表面分别开设有相互对称的放置槽，所述底板的底部左右两侧分别安装有支撑板，所述防护架的顶部表面固定安装有气泵，所述气泵的底部与气缸的顶部相连，所述气缸的底部连接有安装板，所述安装板的底部表面连接有伸缩杆，所述伸缩杆的左右两侧分别设置有电动推杆，所述伸缩杆和电动推杆的底部分别与移动板的顶部相连。本实用新型通过启动气泵可以控制气缸对伸缩杆提供下压的动力，并且通过伸缩杆和电动推杆可以控制移动板向下移动，当移动板移动到指定位置后，会使热压板对放置槽内部的加工件进行层压加工。
主权项：1.一种半导体制备用层压装置，包括防护架（1），其特征在于：所述防护架（1）的底部连接有底板（2），所述底板（2）的顶部表面分别开设有相互对称的放置槽（21），所述底板（2）的底部左右两侧分别安装有支撑板（3），所述防护架（1）的顶部表面固定安装有气泵（4），所述气泵（4）的底部与气缸（5）的顶部相连，所述气缸（5）的底部连接有安装板（6），所述安装板（6）的底部表面连接有伸缩杆（7），所述伸缩杆（7）的左右两侧分别设置有电动推杆（8），所述伸缩杆（7）和电动推杆（8）的底部分别与移动板（9）的顶部相连，所述移动板（9）的底部表面分别安装有相互对称的压杆（10），所述压杆（10）的底部连接有热压板（11）；所述底板（2）的底部表面连接有转动螺杆（12），所述转动螺杆（12）的顶部穿过底板（2）的底部与连接板（13）的底部相连接，所述连接板（13）的顶部表面分别加工有相互对称的连接柱（14），所述连接柱（14）的顶部连接有顶块（15）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 汪正军 一种半导体制备用层压装置
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