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一种半导体制备用层压装置 

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申请/专利权人:汪正军

摘要:本实用新型涉及半导体加工技术领域,且公开了一种半导体制备用层压装置,包括防护架,所述防护架的底部连接有底板,所述底板的顶部表面分别开设有相互对称的放置槽,所述底板的底部左右两侧分别安装有支撑板,所述防护架的顶部表面固定安装有气泵,所述气泵的底部与气缸的顶部相连,所述气缸的底部连接有安装板,所述安装板的底部表面连接有伸缩杆,所述伸缩杆的左右两侧分别设置有电动推杆,所述伸缩杆和电动推杆的底部分别与移动板的顶部相连。本实用新型通过启动气泵可以控制气缸对伸缩杆提供下压的动力,并且通过伸缩杆和电动推杆可以控制移动板向下移动,当移动板移动到指定位置后,会使热压板对放置槽内部的加工件进行层压加工。

主权项:1.一种半导体制备用层压装置,包括防护架(1),其特征在于:所述防护架(1)的底部连接有底板(2),所述底板(2)的顶部表面分别开设有相互对称的放置槽(21),所述底板(2)的底部左右两侧分别安装有支撑板(3),所述防护架(1)的顶部表面固定安装有气泵(4),所述气泵(4)的底部与气缸(5)的顶部相连,所述气缸(5)的底部连接有安装板(6),所述安装板(6)的底部表面连接有伸缩杆(7),所述伸缩杆(7)的左右两侧分别设置有电动推杆(8),所述伸缩杆(7)和电动推杆(8)的底部分别与移动板(9)的顶部相连,所述移动板(9)的底部表面分别安装有相互对称的压杆(10),所述压杆(10)的底部连接有热压板(11);所述底板(2)的底部表面连接有转动螺杆(12),所述转动螺杆(12)的顶部穿过底板(2)的底部与连接板(13)的底部相连接,所述连接板(13)的顶部表面分别加工有相互对称的连接柱(14),所述连接柱(14)的顶部连接有顶块(15)。

全文数据:

权利要求:

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