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申请/专利权人：广州增芯科技有限公司
摘要：本实用新型提供了一种压阻式绝压传感器，包括：密封板、空腔、感应区；感应区的背面设置有一深坑，密封板密封感应区的背面，形成空腔；深坑内设置有至少四个凸出单元以及至少四个独立的梁单元，梁单元与凸出单元一一对应；四个凸出单元沿深坑的边沿均匀分布，且两两沿深坑的顶面的X方向、Y方向对称设置；梁单元设置于靠近深坑的边沿的位置，梁单元的长轴方向自深坑边沿向深坑的中心方向延伸；感应区的正面设置有至少四个压阻条，用于感测外界压力，其垂直映射至感应区的背面的位置位于凸出单元与梁单元之间。本实用新型的技术方案，感应区的背面深坑内设置有凸出单元、梁单元；可以提高压阻式绝压传感器的灵敏度、分辨率，同时实现了过载保护。
主权项：1.一种压阻式绝压传感器，其特征在于，包括：密封板、空腔以及感应区；其中，所述感应区的背面设置有一深坑，所述密封板密封所述感应区的背面，形成所述空腔；所述深坑内设置有至少四个凸出单元以及至少四个独立的梁单元，所述梁单元与所述凸出单元一一对应；所述四个凸出单元沿所述深坑的边沿均匀分布，且两两沿所述深坑的顶面的X方向、Y方向对称设置；所述梁单元设置于靠近所述深坑的边沿的位置，所述梁单元的长轴方向自所述深坑边沿向所述深坑的中心方向延伸；所述感应区的正面设置有至少四个压阻条，用于感测外界压力，所述压阻条垂直映射至所述感应区的背面的位置位于所述凸出单元与所述梁单元之间。
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权利要求：
百度查询： 广州增芯科技有限公司 压阻式绝压传感器
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