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申请/专利权人：乌海市京运通新材料科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种适用于单晶炉副室检漏用的密封工装，具体涉及密封检漏技术领域，包括密封外壳，其中密封外壳的顶部设置有安装质量盘，其中安装质量盘的表面开设有入气口，并且密封外壳的内部设置有挤压盘，其中挤压盘的底部设置有分区机构，其中分区机构包括设置在挤压盘底部的储物盘，其中储物盘的内部开设有空腔，并且空腔的内部设置有多个放置管，多个放置管的内部均设置有煤油，其中放置管的底部设置有煤油。本实用新型副室与阀仓旋板阀隔离开，这样在检漏时候可以很好的区分漏点，并且更加方便维修，并且实现分段检漏的目的，从而更快更准确的找到漏点，以此减少晶棒发白的出现。
主权项：1.一种适用于单晶炉副室检漏用的密封工装，包括密封外壳（1），其特征在于：所述密封外壳（1）的顶部设置有安装质量盘（2），所述安装质量盘（2）的表面开设有入气口（3），所述密封外壳（1）的内部设置有挤压盘（4），所述挤压盘（4）的底部设置有分区机构；所述分区机构包括设置在挤压盘（4）底部的储物盘（5），所述储物盘（5）的内部开设有空腔（6），所述空腔（6）的内部设置有多个放置管（7），多个所述放置管（7）的内部均设置有煤油（8），所述放置管（7）的底部设置有煤油（8），所述储物盘（5）的内部开设有放置槽，所述放置槽的内部设置有弹簧（9），所述储物盘（5）的底部设置有固定盘（10）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 乌海市京运通新材料科技有限公司 一种适用于单晶炉副室检漏用的密封工装
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