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申请/专利权人:乌海市京运通新材料科技有限公司
摘要:本实用新型公开了一种适用于单晶炉副室检漏用的密封工装,具体涉及密封检漏技术领域,包括密封外壳,其中密封外壳的顶部设置有安装质量盘,其中安装质量盘的表面开设有入气口,并且密封外壳的内部设置有挤压盘,其中挤压盘的底部设置有分区机构,其中分区机构包括设置在挤压盘底部的储物盘,其中储物盘的内部开设有空腔,并且空腔的内部设置有多个放置管,多个放置管的内部均设置有煤油,其中放置管的底部设置有煤油。本实用新型副室与阀仓旋板阀隔离开,这样在检漏时候可以很好的区分漏点,并且更加方便维修,并且实现分段检漏的目的,从而更快更准确的找到漏点,以此减少晶棒发白的出现。
主权项:1.一种适用于单晶炉副室检漏用的密封工装,包括密封外壳(1),其特征在于:所述密封外壳(1)的顶部设置有安装质量盘(2),所述安装质量盘(2)的表面开设有入气口(3),所述密封外壳(1)的内部设置有挤压盘(4),所述挤压盘(4)的底部设置有分区机构;所述分区机构包括设置在挤压盘(4)底部的储物盘(5),所述储物盘(5)的内部开设有空腔(6),所述空腔(6)的内部设置有多个放置管(7),多个所述放置管(7)的内部均设置有煤油(8),所述放置管(7)的底部设置有煤油(8),所述储物盘(5)的内部开设有放置槽,所述放置槽的内部设置有弹簧(9),所述储物盘(5)的底部设置有固定盘(10)。
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百度查询: 乌海市京运通新材料科技有限公司 一种适用于单晶炉副室检漏用的密封工装
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