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申请/专利权人：江苏容导半导体科技有限公司
摘要：本申请实施例涉及一种固态前驱体供应腔室。属于前驱体供应腔室技术领域。固态前驱体供应腔室包括瓶体、出料管道和多个托盘。其中，瓶体包括瓶底、瓶壁和瓶盖，瓶底、瓶壁和瓶盖形成密封腔室，瓶盖上具有载气入口与蒸汽出口；出料管道的一端连通蒸汽出口；多个托盘套装于出料管道上，多个托盘堆叠设置，托盘包括多个空心管，空心管的两端均连通密封腔室，空心管的至少一端凸出于托盘表面，载气从载气入口进入流经空心管，以将蒸汽携带至出料管道的另一端处。本申请实施例提供的固态前驱体供应腔室利用空心管进行引流以实现载气与蒸汽混合物多次折流，进而大大提高载气与蒸汽的混合效果，进一步保证前驱体蒸汽的稳定性。
主权项：1.一种固态前驱体供应腔室，所述固态前驱体供应腔室中的固态前驱体在加热后升华转变为蒸汽，其特征在于，包括：瓶体，所述瓶体包括瓶底、瓶壁和瓶盖，所述瓶底、瓶壁和瓶盖形成密封腔室，所述瓶盖可拆卸盖装于所述瓶壁上，所述瓶盖上具有载气入口与蒸汽出口，所述载气入口与所述蒸汽出口均连通所述密封腔室；出料管道，所述出料管道的一端连通所述蒸汽出口，另一端位于所述密封腔室内；多个托盘，所述多个托盘套装于所述出料管道上，所述托盘连接于所述瓶壁上，所述多个托盘堆叠设置，所述托盘包括多个空心管，所述空心管嵌装于所述托盘上，且所述空心管的两端均连通所述密封腔室，所述空心管的至少一端凸出于所述托盘表面；第一混合芯，所述第一混合芯连接所述出料管道，并位于所述出料管道内；其中，所述固态前驱体放置于所述托盘上，载气从所述载气入口进入流经所述空心管，所述载气与所述蒸汽的流动方向相反，且所述载气在流动过程中将所述密封腔室内的所述蒸汽携带至所述瓶底，以使得混合后的所述蒸汽与所述载气进入位于所述瓶底处的所述出料管道。
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权利要求：
百度查询： 江苏容导半导体科技有限公司 固态前驱体供应腔室
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