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申请/专利权人：鸿舸半导体设备(上海)有限公司

摘要：本发明涉及流量测量装置技术领域，尤其是涉及一种具有限流功能的流量检测装置及制造方法，具有限流功能的流量检测装置包括主体和流量检测部，主体的两端分别连接管道，主体的内部设置有第一流动腔室，流量检测部设置于第一流动腔室；流量检测部包括半导体连接件、导套和运动件；半导体连接件包括第一导电部、第二导电部和绝缘部，第一导电部设置有第一触点，第二导电部设置有第二触点，流量检测部能够在限流状态和非限流状态之间切换。该具有限流功能的流量检测装置能够实现对管道内的流体进行检测，利用运动件的运动，实现限流的功能，不受到环境磁场的干扰，提升了流量检测的准确性和精度。

主权项：1.一种具有限流功能的流量检测装置，用于半导体厂务设备的管道，其特征在于，所述具有限流功能的流量检测装置包括主体和流量检测部，所述主体的两端分别连接所述管道，所述主体的内部设置有第一流动腔室，所述管道内的流体由所述第一流动腔室的第二端流动至所述第一流动腔室的第一端，所述流量检测部设置于所述第一流动腔室；所述流量检测部的内部设置有第二流动腔室，所述第二流动腔室与所述第一流动腔室连通，所述流量检测部包括半导体连接件、导套和运动件，所述半导体连接件与所述第一流动腔室的第一端抵接，所述导套与所述第一流动腔室的第二端抵接，所述半导体连接件设置于所述导套在第一方向上的一端，所述导套的内部中空，所述运动件能够移动地设置于所述导套的内部；所述半导体连接件包括第一导电部、第二导电部和绝缘部，所述第一导电部和所述第二导电部分别设置于所述绝缘部的两端，所述第一导电部和所述第二导电部面对所述运动件，所述第一导电部设置有朝向所述运动件延伸的第一触点，所述第二导电部设置有朝向所述运动件延伸的第二触点，所述第一导电部和所述第二导电部均与外部电性导通；所述流量检测部能够在限流状态和非限流状态之间切换，在所述运动件与所述第一触点和所述第二触点同时接触的情况下，所述流量检测部处于限流状态，通过所述流量检测部的流体的流量为设定的阈值，所述第一导电部和所述第二导电部导通，在所述运动件不与所述第一触点和所述第二触点同时接触的情况下，所述流量检测部处于非限流状态，通过所述流量检测部的流体的流量小于设定的阈值；所述半导体连接件的绝缘部的中部开设有第一过孔，所述导套中空的内部与所述第一过孔连通以形成所述第二流动腔室，所述运动件的中部开设有限流孔；在所述流量检测部处于限流状态的情况下，流体通过所述限流孔流动至所述第一过孔。

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