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申请/专利权人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司
摘要：本发明实施例公开了一种用于硅片脱胶的装置及设备，所述装置包括：顶部敞开的容纳模块，用于容纳清洗液和经过线切割并仍由胶粘连的硅片队列；设置在容纳模块内的用于支承硅片队列的支承模块；支承模块包括：设置在容纳模块的底部上的支承板，使得当硅片队列以各个硅片竖立的方式放置在支承板上时，硅片队列的带胶部分能够被容纳模块中的清洗液浸没，支承板包括沿支承板的长度方向的第一端部和第二端部；垂直于支承板设置在支承板上的止挡板；支承板设置成能够绕第一端部相对于容纳模块在第一位置与第二位置之间旋转，在第二位置，支承板的第二端部相对于容纳模块的底部升起预定高度，使得每个硅片朝向止挡板的方向倾斜。
主权项：1.一种用于硅片脱胶的装置，其特征在于，所述装置包括：顶部敞开的容纳模块，用于容纳清洗液和经过线切割并仍由胶粘连的硅片队列；设置在所述容纳模块内的用于支承所述硅片队列的支承模块；其中，所述支承模块包括：支承板，所述支承板设置在所述容纳模块的底部上，使得当所述硅片队列以各个硅片竖立的方式放置在所述支承板上时，所述硅片队列的带胶部分能够被所述容纳模块中的所述清洗液浸没，所述支承板包括沿所述支承板的长度方向的第一端部和第二端部；止挡板，所述止挡板垂直于所述支承板设置在所述支承板上；其中，所述支承板设置成能够绕所述第一端部相对于所述容纳模块在第一位置与第二位置之间旋转，在所述第一位置，所述支承板水平地位于所述容纳模块的底部上，在所述第二位置，所述支承板的所述第二端部相对于所述容纳模块的底部升起预定高度，使得每个硅片朝向所述止挡板的方向倾斜。
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权利要求：
百度查询： 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 用于硅片脱胶的装置及设备
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