龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：季华恒一(佛山)半导体科技有限公司
摘要：本发明涉及外延生长技术领域，具体公开了一种外延设备的气浮传输系统、方法及外延设备，其中，系统包括：传输底座，具有朝上设置的气浮通道，气浮通道具有阵列设置多个气浮管组；托盘，用于承托衬底，放置在传输底座上；传输底座包括固定在外延设备的反应腔中的第一气浮底座及固定在反应腔外的第二气浮底座；位置检测组件，用于获取托盘的位置信息；多个进出气组件，分别与每个气浮管组连接，用于朝向气浮管组送气或吸气；控制器，与位置检测组件及进出气组件电性连接；控制器用于根据位置信息控制不同进出气组件进气或吸气以驱动托盘在气浮通道上位移；该系统解决了反应腔高温环境影响传输机械臂及其上夹具的使用寿命的问题。
主权项：1.一种外延设备的气浮传输系统，用于传输衬底，其特征在于，所述系统包括：传输底座，具有朝上设置的气浮通道，所述气浮通道具有等距设置多个气浮管组；托盘，用于承托衬底，放置在所述传输底座上；所述传输底座包括固定在所述外延设备的反应腔中的第一气浮底座及固定在所述反应腔外的第二气浮底座；位置检测组件，设于所述传输底座一侧，用于获取所述托盘的位置信息；多个进出气组件，分别与每个所述气浮管组连接，用于朝向所述气浮管组送气或吸气；控制器，与所述位置检测组件及进出气组件电性连接；所述控制器用于根据所述位置信息控制不同所述进出气组件进气或吸气以驱动所述托盘在所述气浮通道上位移，所述控制器还用于控制托盘前进方向上最近的气浮管组产生吸气作用；所述位置检测组件为距离传感器，设于所述第二气浮底座远离所述第一气浮底座的一侧，用于获取所述托盘相对于所述第二气浮底座边缘的位置信息。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 季华恒一(佛山)半导体科技有限公司 外延设备的气浮传输系统、方法及外延设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号