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申请/专利权人：上海广川科技有限公司
摘要：本发明公开了一种兼容型的晶圆缓存装置，包括：M个承载支柱，且M个承载支柱均匀间隔分布以围成圆形，承载支柱朝向圆心的一侧沿着承载支柱的延伸方向设置有若干个晶圆支撑块；位于承载支柱外侧的推杆，所述推杆的固定端与承载支柱转动连接，所述推杆的活动端连接第一驱动件；所述推杆中设置有与晶圆支撑块一一固定连接的限位块；所述第一驱动件带动推杆沿着固定端旋转。本发明提供的一种兼容型的晶圆缓存装置，通过调整承载支柱中晶圆支撑块的距离，实现不同场景下的晶圆缓存，本申请结构简单，尺寸调节快捷且精准，提高了不同尺寸晶圆缓存的效率和兼容性。
主权项：1.一种兼容型的晶圆缓存装置，其特征在于，包括：M个承载支柱，且M个承载支柱均匀间隔分布以围成圆形，承载支柱朝向圆心的一侧沿着承载支柱的延伸方向设置有若干个晶圆支撑块；M为大于1的整数；位于承载支柱外侧的推杆，所述推杆的固定端与承载支柱转动连接，所述推杆的活动端连接第一驱动件；所述推杆中设置有与晶圆支撑块一一固定连接的限位块；所述第一驱动件带动推杆沿着固定端旋转，使得所述推杆倾斜或直立，使得限位块带动所述晶圆支撑块沿着承载支柱滑动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海广川科技有限公司 一种兼容型的晶圆缓存装置
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