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申请/专利权人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司
摘要：本发明涉及一种直写光刻设备图形数据高速传输装置，包括图形显示器件、通过刚挠结合板与图形显示器件相连的数据接收处理板、通过多模光纤与数据接收处理板相连的数据转换板以及与数据转换板相连的主机。数据接收处理板包括FPGA芯片一和分别与FPGA芯片一相连的高速连接器、DLP模组、SFP+光模块和QSFP+光模块一。高速连接器与刚挠结合板的一端相连。数据转换板包括FPGA芯片二、QSFP+光模块二和PCI‑E3.0X8接口。FPGA芯片二分别与QSFP+光模块二、PCI‑E3.0X8接口相连。QSFP+光模块一通过多模光纤与QSFP+光模块二相连。本发明能够有效提高直写光刻设备图形数据的传输速率，进而实现图形的快速精准曝光，大幅度提高直写光刻设备单位时间产能。
主权项：1.一种直写光刻设备图形数据高速传输装置，其特征在于：包括图形显示器件、通过刚挠结合板与图形显示器件相连的数据接收处理板、通过多模光纤与数据接收处理板相连的数据转换板以及与数据转换板相连的主机；所述数据接收处理板包括FPGA芯片一和分别与FPGA芯片一相连的高速连接器、DLP模组、SFP+光模块和QSFP+光模块一；所述数据转换板包括FPGA芯片二、QSFP+光模块二和PCI-E3.0X8接口；所述FPGA芯片二分别与QSFP+光模块二、PCI-E3.0X8接口相连；所述QSFP+光模块一通过多模光纤与QSFP+光模块二相连；所述主机上需要传输的图形数据通过PCI-E3.0X8接口输入到数据转换板上；数据转换板上的FPGA芯片二对数据进行处理后，通过QSFP+光模块二转换为光信号进行传输；数据接收处理板上的QSFP+光模块一接收光信号，并将光信号还原成电信号后传输给数据接收处理板上的FPGA芯片一进行处理；FPGA芯片一将处理后的图形数据通过高速连接器和刚挠结合板传输到图形显示器件进行显示曝光；所述DLP模组与图形显示器件之间通过多组并行的LVDS差分信号进行数据传输。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 一种直写光刻设备图形数据高速传输装置及其传输方法
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