龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯南方集成电路制造有限公司
摘要：本发明实施例提供一种光刻模板、晶圆及光刻图形测量方法，所述光刻模板，包括：器件区和切片区；其中，所述器件区内包括器件图形和与所述器件图形相邻的对准标记；所述对准标记包括对准区和过渡区，所述过渡区邻接所述对准区，且，所述过渡区内的图形不同于所述对准区内的图形。其中，基于过渡区内的图形不同于所述对准区内的图形，使得本发明实施例中的对准标记易于识别，进而避免对应的OVL测量方法产生偏差，提高了OVL测量的精度。
主权项：1.一种光刻模板，其特征在于，包括：器件区和切片区；其中，所述器件区内包括器件图形和与所述器件图形相邻的对准标记；所述对准标记包括对准区和过渡区，所述过渡区邻接所述对准区，且，所述过渡区内的图形不同于所述对准区内的图形。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 中芯南方集成电路制造有限公司 光刻模板、晶圆及光刻图形测量方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号