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申请/专利权人：中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司
摘要：本申请公开了一种放电反应制备乙硅烷的方法，所述方法包括以下步骤：S1：将甲硅烷和配气混合形成混合气体，S2：将混合气体通入反应器中进行放电反应，得到粗品气，S3：将粗品气冷凝后形成粗品液，S4：将粗品液汽化后进行提纯。本申请还公开了一种放电反应制备乙硅烷的系统，依次包括供气系统、反应系统、氮气系统、尾气处理系统、充装系统通过管路连接。经过本申请公开的制备方法可以提高乙硅烷的收率，并且乙硅烷的纯度高达99.9999％，并且使用该系统制备乙硅烷的工艺简单，能耗低，成本小。
主权项：1.一种放电反应制备乙硅烷的系统，其特征在于：依次包括供气系统、反应系统、氮气系统、尾气处理系统、充装系统；其中供气系统用于向反应系统中提供反应所需的气体；反应系统用于气体反应的发生；液氮系统用于向反应系统提供反应所需的低温条件；氮气系统用于回收液氮系统的氮气；尾气处理系统用于处理反应系统中产生的杂质组分；充装系统用于将反应系统得到的乙硅烷进行充装；所述反应系统包括甲硅烷流量控制器1、配气流量控制器2、缓冲罐3、放电反应器4、放电电源5、粗品冷凝器6、第一粗品收集罐7、第一汽化器8、第二粗品收集罐9、第二汽化器10、脱重塔11、脱轻塔12，甲硅烷流量控制器1用于调节甲硅烷进入放电反应器4的流量；配气流量控制器2用于调节配气进入放电反应器4的流量；缓冲罐3使甲硅烷和配气气体的混合；放电反应器4用于甲硅烷和配气反应发生；粗品冷凝器6用于收集放电反应器4反应后的混合气体进行冷凝；第一粗品收集罐7用于收集粗品冷凝器6中冷凝的液体；第二粗品收集罐9用于收集第一粗品收集罐7中达到液位限高的液体；第一汽化器8用于汽化第一粗品收集罐7中的冷凝液体；第二汽化器10用于汽化第二粗品收集罐9中的冷凝液体；脱重塔11用于处理汽化后第一粗品收集罐7和第二粗品收集罐9中的冷凝液体；脱轻塔12用于处理脱重塔11塔顶的气体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司 一种放电反应制备乙硅烷的方法及系统
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