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申请/专利权人:芯传科半导体科技(江苏)有限公司;新毅东(北京)科技有限公司
摘要:本发明提供一种掩膜版转运系统,包括转运机构、储存机构、预对准机构和掩膜台;储存机构用于存放掩膜版;转运机构设置于储存机构和预对准机构之间,以将储存机构内的掩膜版转运至预对准机构中;预对准机构具有与掩膜版校准后重合的基准位面,预对准机构能够对掩膜版进行位置调校以使掩膜版与基准位面重合;转运机构还设置于预对准机构和掩膜台之间,以将预对准机构中经位置调校的掩膜版转运至掩膜台上。该掩膜版转运系统在整体结构紧凑的同时通过对掩膜版的预先调节,大大降低了掩膜版在转运过程中掩膜版的偏移量,有利于提升掩膜版在掩膜台上的高精度定位和对准率,保证了整个曝光过程的精准、稳定和高效运转。
主权项:1.一种掩膜版转运系统,其特征在于,包括转运机构(110)、储存机构(120)、预对准机构(130)和掩膜台(140);所述储存机构(120)用于存放掩膜版;所述转运机构(110)设置于所述储存机构(120)和所述预对准机构(130)之间,以将所述储存机构(120)内的掩膜版转运至所述预对准机构(130)中;所述预对准机构(130)具有与掩膜版校准后重合的基准位面(131),所述预对准机构(130)能够对所述掩膜版进行位置调校以使掩膜版与所述基准位面(131)重合;所述转运机构(110)还设置于所述预对准机构(130)和所述掩膜台(140)之间,以将所述预对准机构(130)中经位置调校的掩膜版转运至所述掩膜台(140)上。
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