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申请/专利权人：芯传科半导体科技(江苏)有限公司;新毅东(北京)科技有限公司
摘要：本发明提供一种掩膜版转运系统，包括转运机构、储存机构、预对准机构和掩膜台；储存机构用于存放掩膜版；转运机构设置于储存机构和预对准机构之间，以将储存机构内的掩膜版转运至预对准机构中；预对准机构具有与掩膜版校准后重合的基准位面，预对准机构能够对掩膜版进行位置调校以使掩膜版与基准位面重合；转运机构还设置于预对准机构和掩膜台之间，以将预对准机构中经位置调校的掩膜版转运至掩膜台上。该掩膜版转运系统在整体结构紧凑的同时通过对掩膜版的预先调节，大大降低了掩膜版在转运过程中掩膜版的偏移量，有利于提升掩膜版在掩膜台上的高精度定位和对准率，保证了整个曝光过程的精准、稳定和高效运转。
主权项：1.一种掩膜版转运系统，其特征在于，包括转运机构（110）、储存机构（120）、预对准机构（130）和掩膜台（140）；所述储存机构（120）用于存放掩膜版；所述转运机构（110）设置于所述储存机构（120）和所述预对准机构（130）之间，以将所述储存机构（120）内的掩膜版转运至所述预对准机构（130）中；所述预对准机构（130）具有与掩膜版校准后重合的基准位面（131），所述预对准机构（130）能够对所述掩膜版进行位置调校以使掩膜版与所述基准位面（131）重合；所述转运机构（110）还设置于所述预对准机构（130）和所述掩膜台（140）之间，以将所述预对准机构（130）中经位置调校的掩膜版转运至所述掩膜台（140）上。
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权利要求：
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